山东明石致远先进技术研究院

烟台小伙:师从蒋庄德院士,技术打破国外垄断,获中央表彰

明石致远先进技术研究院

"得知获奖很高兴,同时也感到多了一份责任。"在第十五届中国青年科技奖颁奖会暨青年科技人才论坛上,西安交通大学蒋庄德院士团队成员、西安交通大学精密仪器系主任赵立波教授荣获本届中国青年科技奖特别奖,全国仅有10位科技工作者获此殊荣,而他是西部地区唯一的获奖者。

赵立波教授同时担任着西安交通大学(烟台)智能传感技术与系统研究院院长,该院由明石创新产业技术研究院与西安交通大学、烟台经济技术开发区管委三方共建,是明石创新产业技术研究院旗下六大专业研究院之一,致力于在烟台打造国内一流、国际上具有一定影响力的智能传感器技术与系统创新和成果转化聚集地,该院参与建设的“山东省微纳传感技术与智能应用创新创业共同体”日前也由山东省政府批准为全省首批5家省级创新创业共同体之一。

1996年,赵立波从海阳四中考入西安交大机械工程学院,从学士、硕士一路读到博士。本科毕业后,他就跟随导师——中国工程院院士蒋庄德开展MEMS传感器的研究工作。那时的他对MEMS传感器只是一知半解,怀着"跟导师走准没错"的朴实想法,就一头扎了进来,没想到这一扎就是近20年。


蒋庄德院士团队开展科研工作

说起这么多年做MEMS传感器的感受,赵立波说就是一个字——"难"。做MEMS传感器主要难在两点:一是国外MEMS产业链已经发展得相当完善,都是企业在运作,想有所突破很难;二是MEMS传感器平台的运行费用和加工费用都比较高,想要发文章就必须做出东西来,在高校现有的评价体制下,不太容易出论文成果。

为什么这么难还是一直在坚持?赵立波表示,在MEMS领域一直坚守,除了传承导师衣钵外,还有一个重要原因,MEMS的高尖端技术一直为国外垄断,特别是涉及到航空航天、石油化工、军工等关系国家命脉领域的MEMS器件。"难才要迎难而上。无论有多难,看起来有多不'划算',这个领域我们都不可能也绝不能放弃。"在他看来,这是一个科技工作者必须的责任和担当。

付出总有收获。在探索中,赵立波带领着研究小组,聚焦在传感器的基础理论以及制造工艺和测试分析等关键技术方面。建立了变截面悬臂梁、槽膜等结构的力学模型并进行了理论分析;提出了快速测量流体密度的实验方法,解决了黏密度与微电流的在线测量难题;发明了倒杯、槽膜等结构的压阻力敏芯片,突破了航空航天、石油化工、军工等领域高温、高频响、极端量程等条件下的压力/加速度测量难题,目前该产品已应用于三百多家单位,取得了较好的社会效益。

2016年,赵立波在做实验时无意中发现"一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法",这一发现获得了美国发明专利。在解决500帕超低压力的高精度动态测量难题时,他带领研究小组反复研究,前后共设计出十余种结构方案,后来,技术人员用这些结构方案制备出了槽膜分段质量块结构力敏芯片,其灵敏度与美国知名传感器公司制造的压阻传感器相比提高了近1个数量级。

作为青年教师,赵立波在进行科研的同时,还承担了"传道授业解惑"的重任。翻开他的书本,里面记满了密密麻麻的笔记,都是他平时在讲课过程中遇到的问题和体会。除了认真对待课堂,充分尊重学生的意见,为学生提供最大限度的自主空间,也是赵立波非常注重的一点。博士生徐廷中说:"赵老师从不会妄下结论,我们有不同的观点也会和他'争论'一番。他这种尊重学生的指导方式,让我们更自信也更敢干。"


签约共建“西安交通大学(烟台)
传感技术与系统研究院”

作为交大"土著",赵立波身上凝聚了很多交大人的特质:聪明、踏实、谦虚、肯干、不计较、爱钻研……也正是这些品质,让他在教学、科研的道路上一步一个脚印,踏踏实实一路前行。对于未来,赵立波已有了规划:MEMS谐振式传感器的理论模型和结构设计已完成,芯片也即将被制造出来,如何让芯片产业化,是他接下来要推进的重点工作。
赵立波教授简介


赵立波,男,1978年7月生,山东省海阳市人,博士、教授,博士生指导教师。现任西安交通大学机械工程学院精密仪器系主任,长期从事微纳制造与先进传感技术的研究工作,主持了多项国家自然基金重大项目课题,制定了压阻式压力传感器(静态)型式评审大纲等计量检定规程,发表论文150余篇,参与出版专著3部,授权发明专利52项,获国家技术发明二等奖2项,在微纳制造与先进传感技术领域作出了重要贡献。曾获陕西省青年科技新星、陕西青年科技标兵、陕西青年科技奖、中国机械工程学会青年科技成就奖、全国优秀科技工作者等荣誉。